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        一種MicroLED微顯示芯片的制作方法

        文檔序號:45758236發(fā)布日期:2026-06-10 00:37閱讀:2來源:國知局

        本說明書實施例涉及半導(dǎo)體制備工藝,尤其是一種microled微顯示芯片。


        背景技術(shù):

        1、現(xiàn)有的microled微顯示芯片通常采用共極設(shè)計,即所有l(wèi)ed共用一個p或n電極,公共電極通過電流較大且公共電極通常設(shè)置在有效顯示區(qū)外圍,如圖1所示;另外一端電極單獨引出。

        2、現(xiàn)有技術(shù)中,像素共極電流通過摻雜半導(dǎo)體層傳輸?shù)酵鈬搽姌O區(qū)域,再通過鍵合金屬傳導(dǎo)到驅(qū)動基板上形成回路。由于位于有效顯示區(qū)不同位置處的像素到公共電極的距離不同;且半導(dǎo)體材料方阻大較大,會導(dǎo)致公共電極端傳輸電阻大,導(dǎo)致嚴重ir?drop(current-related?resistance?voltage?drop,即由電流(i)流過電阻(r)導(dǎo)致的電壓下降)現(xiàn)象,造成亮度不均和器件發(fā)光效率下降。

        3、有鑒于此,本說明書實施例旨在提供一種microled微顯示芯片。


        技術(shù)實現(xiàn)思路

        1、針對現(xiàn)有技術(shù)存在的位于有效顯示區(qū)不同位置處的像素存在不同程度ir?drop,以及導(dǎo)致公共電極端傳輸電阻大,造成亮度不均和器件發(fā)光效率下降的問題,本說明書實施例的目的在于,提供一種microled微顯示芯片。

        2、為了解決上述技術(shù)問題,本說明書實施例的具體技術(shù)方案如下:

        3、本說明書實施例提供一種microled微顯示芯片,包括像素層和驅(qū)動基板:

        4、所述像素層包括多個呈陣列分布的像素單元,各所述像素單元包括沿背離驅(qū)動基板的方向依次設(shè)置的第一摻雜半導(dǎo)體、有源層和第二摻雜半導(dǎo)體,各像素單元的第一摻雜半導(dǎo)體、有源層和第二摻雜半導(dǎo)體中靠近有源層的部分形成第一臺階,第二摻雜半導(dǎo)體遠離有源層的部分側(cè)向凸出于第一臺階形成第二臺階;

        5、所述驅(qū)動基板上設(shè)置有多個第一觸點和多個第二觸點;所述第一觸點通過第一金屬層與對應(yīng)像素單元的第一臺階的底部相連接,所述第二觸點通過第三金屬層與對應(yīng)像素單元的第二臺階的底部相連接。

        6、采用上述技術(shù)方案,本說明書實施例提供的一種microled微顯示芯片,通過金屬材料代替半導(dǎo)體材料進行電流傳輸,降低了公共電極端傳輸電阻,增強了公共電極電流擴展,有利于優(yōu)化ir?drop問題,提高了顯示效果的均勻性和發(fā)光效率。

        7、為讓本說明書實施例的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能更明顯易懂,下文特舉較佳實施例,并配合所附圖式,作詳細說明如下。


        技術(shù)特征:

        1.一種microled微顯示芯片,其特征在于,包括像素層和驅(qū)動基板:

        2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第一觸點與各像素單元一一對應(yīng)并位于相應(yīng)像素單元的下方,所述第二觸點位于相鄰兩個像素單元之間的間隔區(qū)域以及陣列的外圍區(qū)域。

        3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的microled微顯示芯片,其特征在于,

        4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的microled微顯示芯片,其特征在于,

        5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第五金屬層,所述第五金屬層設(shè)置在相鄰兩個像素單元之間的間隔區(qū)域以及陣列的外圍區(qū)域;

        6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第五金屬層頂面的高度高于或等于所述第二臺階頂面的高度。

        7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第二金屬層;

        8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的microled微顯示芯片,其特征在于,

        9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第六金屬層,所述第六金屬層設(shè)置在相鄰兩個像素單元之間的間隔區(qū)域以及陣列的外圍區(qū)域,位于所述間隔區(qū)域處的所述第六金屬層的尺寸小于對應(yīng)像素單元間隔的尺寸;

        10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第一鈍化層,所述第一鈍化層沉積在所述像素層的底部,所述第一鈍化層設(shè)置有多個貫穿的第一開孔,所述第一開孔位于第一臺階的底部;

        11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第一鈍化層還設(shè)置有多個貫穿的第三開孔,所述第三開孔位于第二臺階的底部;

        12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第一鈍化層設(shè)有貫穿的第五開孔,所述第五開孔置在相鄰兩個像素單元之間的間隔區(qū)域以及陣列的外圍區(qū)域;

        13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第二鈍化層;

        14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第二鈍化層設(shè)有貫穿的第二開孔,所述第二開孔位于相鄰兩個像素單元之間的間隔區(qū)域以及陣列的外圍區(qū)域;

        15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第三鈍化層;

        16.根據(jù)權(quán)利要求5所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括第四鈍化層;

        17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第四鈍化層設(shè)有貫穿的第六開孔;

        18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的microled微顯示芯片,其特征在于,所述第六開孔的位置與尺寸和所述第一臺階的位置與尺寸相對應(yīng)。

        19.根據(jù)權(quán)利要求10所述的microled微顯示芯片,其特征在于,還包括導(dǎo)電層,所述導(dǎo)電層設(shè)置在各像素單元的第一摻雜半導(dǎo)體與第一鈍化層之間;


        技術(shù)總結(jié)
        本發(fā)明提供一種MicroLED微顯示芯片,像素層包括呈陣列分布的像素單元,像素單元包括第一摻雜半導(dǎo)體、有源層和第二摻雜半導(dǎo)體,各像素單元的第一摻雜半導(dǎo)體、有源層和第二摻雜半導(dǎo)體中靠近有源層的部分形成第一臺階,第二摻雜半導(dǎo)體其余部分側(cè)向凸出形成第二臺階;驅(qū)動基板上設(shè)置有第一觸點和第二觸點;第一觸點位于像素單元的下方并通過第一金屬層與第一臺階的底部相連接;第二觸點位于相鄰兩個像素單元之間以及陣列的外圍,通過第三金屬層與第二臺階的底部相連接。本芯片結(jié)構(gòu)簡單降低了工藝難度和制造成本,通過金屬材料代替半導(dǎo)體材料進行電流傳輸,降低了公共電極端傳輸電阻,增強了公共電極電流擴展,有利于提高顯示效果的均勻性和發(fā)光效率。

        技術(shù)研發(fā)人員:王曉楠,顏改革,朱酉良
        受保護的技術(shù)使用者:諾視科技(浙江)有限公司
        技術(shù)研發(fā)日:
        技術(shù)公布日:2026/6/9
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