本發明涉及單晶硅生產，尤其涉及半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置。
背景技術：
1、半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體是單晶硅生產中的關鍵基礎部件，具備高密度、高強度、高純度等特性，其成型后需經過冷卻處理以保障后續加工精度。現有冷卻裝置多通過傳送帶輸送坯體，搭配噴淋或風冷結構實現降溫，核心是通過介質換熱帶走坯體熱量，滿足基本冷卻需求。
2、現有技術存在明顯不足，冷卻過程中坯體易因固定放置導致散熱不均，影響產品質量統一性；坯體轉移與冷卻環節銜接不暢，需額外人工或設備輔助，降低整體加工效率；同時冷卻啟動與停止多依賴人工控制，難以精準匹配坯體旋轉冷卻節奏，無法實現自動化連貫作業，且部分裝置結構復雜，維護成本較高。
3、基于此，提出半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置。
技術實現思路
1、本發明的目的在于：為了解決上述問題，而提出的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置。
2、為了實現上述目的，本發明采用了如下技術方案：
3、半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，包括底座，所述底座一側連接有背板，所述背板上固定連接有輸送架，所述輸送架上連接有傳送帶，所述背板一側滑動連接有升降板，所述升降板上滑動連接有l型臺，所述l型臺上轉動連接有轉盤，所述轉盤上端連接有防滑條，所述l型臺上連接有水箱，所述水箱通過水管連接有冷卻噴架，所述冷卻噴架固定連接在l型臺上，所述l型臺上連接有用以驅動轉盤轉移輸送架上的石墨坯體，并進行旋轉均勻冷卻的傳動機構。
4、優選地，所述輸送架上轉動連接有輸送輪，所述輸送輪設置在傳送帶一側。
5、優選地，所述輸送架一端連接有限位柱。
6、優選地，所述背板上連接有滑軌，所述升降板滑動連接在滑軌上。
7、優選地，所述升降板上開設有滑槽，所述滑槽上滑動連接有滑塊，所述滑塊上連接有偏轉桿，所述l型臺轉動連接在偏轉桿上，所述偏轉桿上連接有扭簧二。
8、優選地，所述轉盤下端連接有旋轉柱，所述l型臺上連接有套管，所述旋轉柱轉動連接在套管上。
9、優選地，所述傳動機構包括氣缸，所述氣缸一端通過轉軸轉動連接在背板上，所述氣缸伸縮端連接有滑桿，所述背板上開設有折彎槽，所述l型臺上開設有插孔，所述滑桿貫穿折彎槽連接在插孔上；
10、所述轉盤下端連接有齒輪，所述l型臺上連接有限位塊，所述限位塊上滑動連接有齒條，所述齒條與齒輪之間相互嚙合，所述l型臺一側連接有擋塊，所述齒輪與l型臺之間連接有扭簧一。
11、優選地，所述齒輪下端連接有梯形塊，所述l型臺一側連接有用以控制冷卻噴架運轉的按鈕。
12、綜上所述，由于采用了上述技術方案，本發明的有益效果是：
13、1、本申請通過采用轉盤、齒輪齒條傳動和冷卻噴架聯動的核心結構，使石墨坯體在冷卻過程中能隨轉盤穩定旋轉，同時冷卻噴架精準匹配旋轉節奏啟動，實現坯體表面均勻受冷，有效避免局部溫差導致的質量問題，保障了單晶硅制造用等靜壓石墨坯體的冷卻一致性。
14、2、本申請通過采用氣缸驅動滑桿沿折彎槽移動的核心結構，同步帶動l型臺完成坯體轉移與冷卻位置切換，無需額外輔助設備或人工干預，實現了坯體輸送、轉移、冷卻的自動化連貫作業，大幅提升了半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體的冷卻加工效率。
1.半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）一側連接有背板（2），所述背板（2）上固定連接有輸送架（3），所述輸送架（3）上連接有傳送帶（4），所述背板（2）一側滑動連接有升降板（7），所述升降板（7）上滑動連接有l型臺（11），所述l型臺（11）上轉動連接有轉盤（12），所述轉盤（12）上端連接有防滑條（19），所述l型臺（11）上連接有水箱（18），所述水箱（18）通過水管連接有冷卻噴架（16），所述冷卻噴架（16）固定連接在l型臺（11）上，所述l型臺（11）上連接有用以驅動轉盤（12）轉移輸送架（3）上的石墨坯體，并進行旋轉均勻冷卻的傳動機構；
2.根據權利要求1所述的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，其特征在于，所述輸送架（3）上轉動連接有輸送輪（5），所述輸送輪（5）設置在傳送帶（4）一側。
3.根據權利要求2所述的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，其特征在于，所述輸送架（3）一端連接有限位柱（6）。
4.根據權利要求1所述的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，其特征在于，所述背板（2）上連接有滑軌（8），所述升降板（7）滑動連接在滑軌（8）上。
5.根據權利要求1所述的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，其特征在于，所述升降板（7）上開設有滑槽（30），所述滑槽（30）上滑動連接有滑塊（17），所述滑塊（17）上連接有偏轉桿（28），所述l型臺（11）轉動連接在偏轉桿（28）上，所述偏轉桿（28）上連接有扭簧二（29）。
6.根據權利要求1所述的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，其特征在于，所述轉盤（12）下端連接有旋轉柱（27），所述l型臺（11）上連接有套管（20），所述旋轉柱（27）轉動連接在套管（20）上。
7.根據權利要求1所述的半導體單晶硅制造用等靜壓石墨坯體緩慢冷卻裝置，其特征在于，所述齒輪（26）下端連接有梯形塊（31），所述l型臺（11）一側連接有用以控制冷卻噴架（16）運轉的按鈕（22）。