本發明涉及表面處理，具體是一種轉子表面處理工藝。
背景技術：
1、真空泵轉子在實際運行中長期承受摩擦、沖擊、熱應力和腐蝕等多種耦合工況。現有表面強化技術如單一硬質涂層（如dlc、tin、crn）普遍存在脆性大、與基體結合力差的問題；多層涂層技術多采用簡單層疊結構，層間界面突變，易導致剝落；而梯度涂層技術則依賴復雜的多源蒸發設備或高能離子束控制，成本高、工藝窗口窄。
2、因此，亟需開發一種結合力強、耐磨性好、抗沖擊性強且工藝簡單的轉子表面處理技術。
技術實現思路
1、本發明的目的在于提供一種轉子表面處理工藝，旨在解決上述背景技術中所提到的問題。
2、為實現上述目的，本發明采用如下技術方案：所述轉子表面處理工涂層，自基體向外依次包括軟層a、硬層b和韌化層c；
3、軟層a由金屬mo或w與遞增含量的c或s形成的金屬潤滑復合層；
4、硬層b由金屬氮化物或碳氮化物形成；
5、軟層a與硬層b之間為連續成分和結構梯度區；
6、韌化層c為硬層b在320～420℃下經固態微擴散形成的納米晶-非晶混合結構。
7、進一步地，金屬氮化物或碳氮化物中的金屬為ti、cr或zr。
8、進一步地，涂層的結合力不低于70?n。
9、進一步地，韌化層c的厚度為0.8～1.2?μm。
10、本發明還提供上述涂層的制備方法，包括以下步驟：
11、（1）基體預處理及離子清洗；
12、（2）采用雙源金屬靶和微量反應氣體進行反應濺射，形成成分遞增的軟層a；
13、（3）通過動態調控反應氣氛，實現軟層a向硬層b的連續梯度過渡，形成硬層b；
14、（4）在真空環境下，對硬層b進行320～420℃、20～50分鐘的擴散調質，形成韌化層c；
15、（5）在所述韌化層c表面開設周期性微凹坑，所述微凹坑可用于儲存潤滑介質；
16、（6）進行后處理，包括低能氮等離子體鈍化。
17、優選地，反應氣體為c2h2或h2s，含量不超過1%。
18、優選地，沉積過程中基體偏壓由-40-80?v逐漸提升至-120-160?v。
19、優選地，擴散調質過程中冷卻速度為5～8℃/min。
20、優選地，軟層a的厚度為1～3?μm，硬層b的厚度為3～8?μm
21、本發明的有益效果是：
22、通過軟層a與硬層b之間的連續成分梯度設計，實現了從基體到涂層界面的力學性能平緩過渡，避免了傳統多層涂層因界面突變而導致的應力集中和剝落問題。軟層a兼具高延展性與潤滑功能，可有效緩沖外部沖擊與熱應力，提升了涂層的整體結合強度。
23、硬層b采用金屬氮化物/碳氮化物納米晶結構，具有優異的硬度和耐磨性；同時，軟層中引入的c或s元素可形成自潤滑相，在摩擦過程中起到減摩作用。實施例表明，涂層摩擦系數最低可達0.12～0.26，適用于高速、高載摩擦工況。
24、韌化層c通過固態擴散調質工藝在硬層表面原位形成，無需額外沉積材料或復雜設備，該工藝可在320～420℃溫和條件下實現納米晶-非晶混合結構的可控構筑，顯著提升涂層的抗沖擊性和抗疲勞性能，避免脆性斷裂。
25、韌性層c表面的微凹坑，既可以儲存潤滑介質（油/脂），實現持續潤滑，又可以捕捉磨損顆粒，降低磨粒磨損，還能夠增強表面散熱能力，降低摩擦升溫。
1.一種轉子表面處理涂層，其特征是，所述涂層自基體向外依次包括：軟層a、硬層b及經擴散調質生成的韌化層c，其中：
2.根據權利要求1所述的涂層，其特征在于，所述金屬氮化物或碳氮化物中的金屬為ti、cr或zr。
3.根據權利要求1所述的涂層，其特征在于，所述涂層的結合力不低于70n。
4.根據權利要求1所述的涂層，其特征在于，所述韌化層c的厚度為0.8～1.2μm。
5.一種制備如權利要求1～4任一項所述的轉子表面處理涂層的方法，其特征在于，包括以下步驟：
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述步驟②中反應氣體為c2h2或h2s，含量不超過1%。
7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述步驟②和③中基體偏壓由-40-80v逐漸提升至-120-160v。
8.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述擴散調質過程中的冷卻速度為5～8℃/min。
9.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述軟層a的厚度為1～3μm，硬層b的厚度為3～8μm。
10.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述軟層a與硬層b的總厚度為4～11μm。